LN05の焦点距離 23mm
装置の機械加工精度 0.005mm
Acceptance angle ±12°まで
LN05 アパ―チャー | AP0(0deg, top) | Large Area (no aperture) |
AP1(60deg) | Smallest Area | |
AP2(120deg) | Small area >AP1 | |
AP3(180deg, bottom) | Small area >AP2 | |
AP4(240deg) | Small area >AP3 | |
AP5(300deg) | Angle Resolution |
LN04ではアパ―チャーオプションなし
プリアンプのdead timeは <17 ns
最大ベーク温度230度
MCD前のアパ―チャーは0.5, 1, 2, 5mm。
Magnetic trim coil: アナライザーの周りにまかれており、チャンバー内部の残留磁場を中和する。
カウントレートは最大2mega cps
チャンネルトロンのhigh volは最大3.5 kV
CAE mode (Constant Analyzer Energy):パスエネルギーが光電子の運動エネルギーに関係なく一定。
CRR mode (Constant Retard Ratio):パスエネルギーが運動エネルギーと連動。低エネルギーの時に小さくなり、高エネルギー時に大きくなる。
Pedestal => 台
電源裏にあるM.E. => Master Earthの略。つなげるときにはアースループに気を付けること。
Main/Cのイオンポンプのデガスでインターロックがかかってしまうとき→真空ゲージのインターロックの上限を上げる。 -> Realy 選択 -> A1 選択 -> IG 選択 -> Interlockの桁を1.0E-2 に変更 -> イオンポンプをHV onして、真空が下がるのを待つ -> 先の方法で ->
Interlockの桁を1.0E-3に戻す。
LENS program: | 1 | XPS Large Area |
2 | AES | |
3 | XPS small Area | |
4 | Angle Resolved | |
5 | Small area >AP3 | |
6 | Not Defined |
チャンネルトロンの立ち上げ方:光電子の衝突によるデガスに注意。1.high volを落として、1kV以下にする。2. 低カウントから始める。
装置の暖気は30分